高纯气体管道的所有高纯度、高清洁气体都要通过管道输送到仪器用点(POU)，为了满足仪器的质量要求，在出口指标一定的情况下，要更加注意管道系统的材料选择和施工质量。根据燃气或净化设备的精度，管道系统的各种因素受到很大影响，因此管道的选择须符合相关产业原则，并标明管道材料。

　　高纯气体的管道输送将其送到燃气店，保持质量合格的关键是燃气系统设计合理，配件选择与施工安装正确，通过了检测。高纯气体输送管道应根据工艺过程中对气体纯度、允许杂质含量、颗粒物含量等的要求，采用相应质量的管道。

　　例如半导体产业，由于生产工艺复杂、加工精细，不仅有干净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯度气体有着具体而严格的要求。从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于O.35g.m)技术对气体的杂质含量和含水量要求非常严格，因此管道材料特性适应高纯和超高纯气体的要求是必要的。

　　1、管道材料属性

　　在输送高纯天然气管道方面，影响气体质量的管材材料的主要特点是气体渗透性、火器率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、耐蚀性。

　　2、气体渗透性

　　气体通过物料从高压(或分压)侧流向低压(或分压)侧的现象，成为气体渗透。由于空气中氧气和氮气的分压最大，气体分子相对较小，所以管道材料的气体渗透率主要表现为氧气和氮气的渗透率，一般氧气渗透率测试很多。对于输送纯度在ppm级以上的气体，从气体渗透的角度考虑，应使用不锈钢管或钢管。如果我们不当选择不合格的管道材料，无论我们采取什么净化措施，都无济于事。

　　3、出气速率

　　材料冶炼过程中形成的管材晶间或晶格内部有高纯气体运输过程中缓慢释放并污染高纯气体的杂质。特别是杂质需要ppb以上的高纯气体。通常低碳不锈钢管道的花期很低。

　　4、吸附性

　　水分等杂质是极性分子，所以吸附性很强。橡胶、塑料或某些表面粗糙的材料容易吸附水分等杂质，铜对水的吸附性很强，使用这些物质输送高纯气体容易污染。除了输送ppm级以下的氧气外，使用铜管外，高纯气体不使用铜管和塑料管。